桌面型探針臺入門級探針測試臺

蕞低溫度

控溫范圍

配置

78K

80K-500K

4個探針臂

80K

80K-675K

高溫選件

溫度范圍

液氦

液氮

蕞低溫不控溫

±15mk

±20mk

<10K

±50mK

10K-100K

±20mk

±50mK

100K-250K

±15mk

±50mK

251K-350K

±15mk

±100mK

351K-675K

±50mK

±100mK

室溫

<5X10^-3Pa

蕞低溫

<5X10^-4Pa

蕞高溫

<5X10^-2Pa

注：以上數據使用600L渦輪分子泵組得到

X方向

<300nm

Y方向

Z方向

樣品臺傳感器加熱器

液氦：硅二極管傳感器、100W加熱器

液氮：PT100傳感器、100W加熱器

防輻射屏傳感器加熱器

PT100傳感器、100W加熱器

探針臂傳感器

液氦：硅二極管傳感器（安裝在其中一個針臂）

液氮：PT100傳感器（安裝在其中一個針臂）

溫度控制

控溫儀型號

斯坦福CTC100四通道溫度控制器

低溫輸液管

液氮液氦通用低溫輸液管(1.5m，其它長度可選配)，帶流量閥控制

低溫液體儲存罐

液氦:100L液氦自增壓低溫罐(可選更大容量)

液氮：30L液氮自增壓低溫罐（可選更大容量）

支架

桌面

長寬高657X557X76mm

氣浮隔振

可選配

真空腔體

材料

鋁本色氧化(可選不銹鋼電鍍鉻)或鋁電鍍鎳

外部直徑高度

220x150mm

內部直徑高度

190x150mm

可視窗凈尺寸

φ65毫米，紅外吸收石英窗口

真空抽口

KF16

真空閥門

KF16手動擋板閥

放氣閥

手動放氣閥

預留接口

KF25接口，可裝真空計其它選件

探針引出口

六個真空三同軸接口(DC探針，選擇其它探針，接口不同)

防輻射屏

材料

銅鍍金

外徑

134mm

可視窗凈尺寸

50mm,配紅外吸收窗口

抽空泵組

分子泵組

可選(客戶可自備)

機械泵組

可選(客戶可自備)

抽空減振塊

抽空減振塊

KF25進出氣口，重量15公斤

配電要求

單相電壓

220V/50Hz

單相功率

1KW

設備包括

接地樣品托

無

φ51mm(2in)

選件

接地樣品托

φ51mm(2in)

同軸樣品托

BNC

φ51mm(2in)

三同軸樣品托

TRIAX

φ51mm(2in)

注：其它尺寸樣品托接受定制

接地樣品托

導通

0.1K-0.2K

400K

同軸樣品托

>100MΩ

≈1K

400K

三同軸樣品托

>100GΩ

≈1K-2K

400K

1.電絕緣測試是在10V電壓情況下，測量導電面之間的電阻

2.溫差是樣品托表面和樣品臺之間存在的溫差。樣品的熱接觸好壞以及樣品大小，都會對溫差產生影響，熱接觸不充分樣品負載大，會增加溫差。

TRIAX

三同軸樣品托-配3耳三同軸真空接口以及低溫同軸線

高阻DC

高阻抗低漏電流測量

RF-1GHz

KHz和MHz級別的測量，測量帶寬高達1GHz。可以升級到RF/微波-40GHz測量，需要購買一個GSG探針

RF/微波-40GHz

可實現高達40GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量

RF/微波-67GHz

可實現高達67GHz的測量，同時也能實現兼容DC測量

光纖探針

給樣品通光或者從樣品采集光，可選波長，可選FC/APC或者SMA905接口

通用DC

3耳BNC

SMA低溫探針

微型低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

高阻DC

3耳triaxial

SMA低溫探針

微型低溫同軸線，屏蔽層接三同軸GUARD

±5°

探針針尖和直徑

RF-1GHz

2.92mm(K型連接器)

SMA低溫探針

2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

探針針尖和直徑

RF/微波-40GHz

2.92mm(K型連接器)

40G-GSG探針

2.92mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

RF/微波-67GHz

1.85mm(Z型連接器)

67G-GSG探針

1.85mm半剛性低溫同軸線，屏蔽層接地

±5°

GSG針尖距離

光纖探針

FC/APC或SMA905

無

光纖

±5°

類型、波長、入射角

通用DC

DC-50Hz

>100MΩ

<100pF

50Ω

無

無

高阻DC

DC-50Hz

>100GΩ

<100pF

無

無

無

RF-1GHz

DC-1GHz

>10MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-40GHz

DC-40GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

RF/微波-67GHz

DC-67GHz

>1MΩ

未測量

50Ω

<-20dB

<±1dB

光纖探針

無

無

無

無

無

注：絕緣電阻在10V電壓下測量得到

行程

75mm(2in)

25mm(0.5in)

25mm(0.5in)

精度

3μm

5μm

5μm

SMA-05D-01-W

鎢

1

SMA-05D-05-W

5

SMA-05D-10-W

10

SMA-05D-20-W

20

SMA-05D-100-W

100

SMA-05D-01-BC

鈹銅

1

SMA-05D-05-BC

5

SMA-05D-10-BC

10

SMA-05D-20-BC

20

SMA-05D-100-BC

100

SMA-05D-01-P7

Paliney7合金

1

SMA-05D-05-P7

5

SMA-05D-10-P7

10

SMA-05D-20-P7

20

SMA-05D-100-P7

100

鎢(W)

常用，耐用

適用各種樣品表面，能穿透氧化層

好

小

長

鈹銅(BC)

常用，接觸電阻小

沉金焊盤pad

優

蕞小

長

paliney7合金(P7)

專用，接觸電阻小

精密的焊盤pad

好

小

長